Spørgsmål og svar på nøgleejendomme Er HMDS brandfarligt?Ja - HMDS er klassificeret som meget brandfarlig (flammepunkt 17 grader). Opbevar og håndter væk fra alle antændelseskilder i eksplosionssikre-faciliteter. |Er HMDS opløseligt i vand?Nej - HMDS reagerer med vand og fugtig luft og hydrolyserer til hexamethyldisiloxan (HMDSO) og ammoniak. Alle kvaliteter skal holdes strengt vandfri. |Hvad er HMDS-formlen?C₆H₁₉NSi₂, strukturformel (CH3)₃Si–NH–Si(CH3)3, MW 161,39 g/mol. |Er HMDS giftig?HMDS er skadeligt ved indånding, hudkontakt og indtagelse. Det er klassificeret som akut giftigt (Kategori 4 af GHS). Fuldstændig SDS/MSDS tilgængelig på anmodning. |Hvad er HMDS pKa?pKa af konjugatsyren (HMDS·H⁺) er ca. 30 i THF, hvilket gør HMDS til en moderat stærk base, der i vid udstrækning anvendes i organisk syntese til enolatdannelse og deprotoneringsreaktioner.

Specifikation	Industriel kvalitet Overfladebehandling / Fyldstoffer	Farmaceutisk kvalitet Lægemiddelsyntese (GMP)	Elektronisk karakter Halvlederlitografi
Renhed (GC)	Større end eller lig med 98,0 %	Større end eller lig med 99,5 %	Større end eller lig med 99,999 % (5N) op til 6N for avancerede noder
Vandindhold	Mindre end eller lig med 0,1 %	Mindre end eller lig med 0,02 %	Mindre end eller lig med 0,005 % (mindre end eller lig med 50 ppm)
Farve (Pt-Co)	Mindre end eller lig med 30	Mindre end eller lig med 10	Mindre end eller lig med 5
Kogepunkt	125-127 grader	126,0-126,5 grader	126,2 ± 0,2 grader
Flammepunkt	17 grader (lukket kop)	17 grader (lukket kop)	17 grader (lukket kop)
Metal urenheder	Ikke specificeret	Enkelt ion Mindre end eller lig med 10 ppm	Enkelt ion Mindre end eller lig med 1 ppb (ppt-niveau for 14nm noder)
Holdbarhed	6 måneder (N₂-forseglet)	12 måneder (N₂-forseglet, mørk)	18 måneder (ultra-ren N₂-forseglet)
Emballage	180 kg ståltromle 1000 kg IBC-taske	20L HDPE tromle 200L N₂-forseglet ståltromle	10L kvarts-foret tromle 200L ultra-ren ståltromle

1. Semiconductor Lithography - Photoresist Adhesion Promoter

HMDS er branche-standardenvedhæftningsfremmer, primer og hydrofobt belægningsmiddeli silicium wafer litografi, tegner sig for over40 % af det samlede HMDS-forbrug. Påført som en damp-faseprimer (VPP) før fotoresistbelægning, reagerer HMDS med overfladehydroxylgrupper (Si–OH) på waferen og danner et tæt hydrofobt trimethylsilyllag. Dette forbedrer fotoresist-vedhæftningen dramatisk, forhindrer modstandsafskalning under udvikling og eliminerer dannelse af kantperler -, hvilket sikrer nøjagtigt fint kredsløbsmønster ned til28nm noder og derunder.

Efterhånden som avancerede halvlederknudepunkter udvikler sig til 14nm, 7nm og videre, er renhedskravene eskaleret til5N (99,999%) og 6N kvaliteter, med metalurenheder kontrolleret på ppb-ppt-niveau. Vores elektroniske HMDS-produkter af-kvalitet anvender avanceret teknologi til fjernelse af spormetal, der opfylder kvalifikationsstandarderne for førende fabrikater, herunder SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory og UMC.

Reference:SEMI-standarder - Semiconductor Materials Purity ↗

2. Farmaceutisk industri - silyleringsmiddel til lægemiddelsyntese

I farmaceutisk syntese er HMDS meget udbredt som ensilyleringsmiddelat beskytte reaktive protiske funktionelle grupper (–OH, –NH2, –COOH) i lægemiddelmellemprodukter, forebygge uønskede bivirkninger og signifikant forbedre reaktionsselektivitet og målproduktudbytte. Det er et nøglereagens i syntesen af ​​anti-tumor, antivirale og antiallergiske aktive farmaceutiske ingredienser (API'er).

Vores farmaceutiske-kvalitets HMDS (Større end eller lig med 99,5 % renhed, GMP-kompatibel) er blevet valideret af førende farmaceutiske CDMO-virksomheder og leverer stabil batchkvalitet, der er afgørende for lægemiddel-F&U og stor-produktion.

Reference:United States Pharmacopeia (USP) ↗

3. Materialer og overfladebehandling - Hydrofoberingsmiddel

HMDS er en yderst effektivhydrofoberingsmiddeltil uorganiske fyldstoffer såsom pyrogen silica og titaniumdioxid. Overflademodifikation med HMDS forbedrer fyldstof-matrix-kompatibiliteten markant i silikonegummi og epoxyharpikskompositter, hvilket forbedrer mekaniske egenskaber (sejhed, trækstyrke) og vejrbestandighed. Det er meget udbredt i OLED-indkapslingsmaterialer og solcellemodulglasbehandling, hvor HMDS-modificerede overflader viser markant forbedret fugtbarriereydelse, hvilket forlænger levetiden i barske udendørs miljøer.

Forglas-, keramik- og metaloverfladebehandlingHMDS danner en tæt, kovalent bundet hydrofob film, der forhindrer fugtabsorption og korrosion.

Reference:PubChem - Hexamethyldisilazane (NIH) ↗

4. Analytisk kemi og finkemikalier

I analytisk kemi bruges HMDS som enderivatiseringsreagenstil GC-analyse af protiske forbindelser (alkoholer, phenoler, carboxylsyrer). Silylerede derivater udviser højere flygtighed og forbedret kromatografisk adskillelse, hvilket muliggør præcis kvantitativ analyse af sporstoffer i komplekse matricer.

Inden for finkemikalier fungerer HMDS som et mellemprodukt for høje-silikoneoverfladeaktive stoffer og silikoneharpikser, der bruges til daglige kemikalier og tekstiltryk. Markedet for HMDS i elektronisk -kvalitet forventes at vokse med en CAGR på 18,3 % frem til 2026, drevet af accelererende halvlederlokalisering og udvidelse af farmaceutisk CDMO-kapacitet.

Reference:ECHA REACH-registrering - HMDS ↗

5. HMDS som base - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS

Ud over sin rolle som silyleringsmiddel er HMDS en vigtig forløber for de meget anvendte metalamidbaser:LiHMDS(lithiumhexamethyldisilazid, lithiumbis(trimethylsilyl)amid),NaHMDS(natriumhexamethyldisilazid), ogKHMDS(kaliumhexamethyldisilazid). Disse stærke, hindrede baser er essentielle reagenser i farmaceutisk og finkemisk syntese til selektiv enolatdannelse, rettet deprotonering og asymmetriske reaktioner, hvor sterisk bulk og kemoselektivitet er kritiske.

LiHMDS(CAS 4039-32-1) er den mest udbredte, værdsat for sin høje basicitet (pKa ~30 i THF) og fremragende opløselighed i æteriske opløsningsmidler.NaHMDSogKHMDStilbyder stigende reaktivitet og bruges, hvor LiHMDS er utilstrækkeligt reaktivt. Alle tre er fremstillet af HMDS som det vigtigste udgangsmateriale, hvilket gør HMDS-forsyning med høj-renhed afgørende for deres produktion.

Vi leverer HMDS med høj-renhed, der er egnet som råmateriale til LiHMDS-, NaHMDS- og KHMDS-produktion. Kontakt os for bulkspecifikationer.

⚠️ KRITISK SIKKERHEDSBEMÆRKNING:HMDS ermeget brandfarlig(flammepunkt 17 grader) og reagerer voldsomt med vand og frigiver ammoniak. Opbevar og håndtere udelukkende i nitrogen-beskyttede, eksplosionssikre-miljøer. Brug ikke vand til at slukke HMDS-brande.

Tip til massepris:Ordrer over 50 MT kvalificerer sig typisk til en rabat på 5-10 %; 200+ MT/år kontrakter kan frigøre 10-15 % besparelser. Levering af tankbiler reducerer pr.-fragtenhed med 8-12 % i forhold til tromleemballage. Langsigtede aftaler (1-3 år) omfatter prioriteret forsyningsallokering i perioder med høj efterspørgsel efter halvledere.Anmod om et tilpasset HMDS-pristilbud →

Q: Hvad står HMDS for? Hvad er HMDS fuld form?

HMDS står forHexamethyldisilazan- det fulde kemiske navn er 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazan, også skrevet som hexamethyldisilazan. I kemi refererer HMDS specifikt til denne organosiliciumforbindelse (CAS 999-97-3) med strukturen (CH3)3Si-NH-Si(CH3)3. Bemærk: "HMDS" bruges også som en forkortelse på ikke-relaterede områder (f.eks. medicinske, militære eller landbrugsmæssige sammenhænge), men i kemi- og halvlederfremstillingssammenhænge betyder HMDS uvægerligt hexamethyldisilazane.

Q: Hvad bruges HMDS til i halvlederfremstilling?

HMDS bruges som en damp-fase adhæsionsfremmer (primer) påført på siliciumwaferoverflader før fotoresistbelægning. Det reagerer med overflade Si-OH grupper for at danne et hydrofobt trimethylsilyl monolag, som dramatisk forbedrer fotoresist adhæsion, forhindrer delaminering under våd udvikling og sikrer dimensionel nøjagtighed af fine kredsløbsmønstre. Det er et standard procesmateriale på stort set alle siliciumwaferfabrikker globalt, fra ældre 200 mm til førende-300 mm EUV litografilinjer.

Q: Hvad er forskellen mellem Industrial Grade og Electronic Grade HMDS?

Industriel kvalitet (større end eller lig med 98,0%) er velegnet til overfladebehandling af fyldstoffer (pyntet silica, TiO₂), belægninger og generelle silyleringsapplikationer, hvor indholdet af spormetal ikke er kritisk. Elektronisk kvalitet (større end eller lig med 99,999 %, 5N) kræver individuelle metalurenheder under 1 ppb - obligatorisk for halvlederlitografi, hvor sub-ppb metallisk kontaminering ville forårsage enhedsfejl. Electronic Grade er pakket under ultra-rene ISO 14644-forhold i kvarts-forede eller certificerede ultra-rene ståltromler, med hver batch ledsaget af en fuld ICP-MS-spormetallrapport.

Q: Hvorfor reagerer HMDS med vand, og hvordan skal det opbevares?

HMDS indeholder en Si-N-Si-binding, der er meget modtagelig for hydrolyse: (CH₃)₃Si-NH-Si(CH₃)3 + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. Den frigivne ammoniak skaber trykopbygning i forseglede beholdere, og den resulterende hexamethyldisiloxan (HMDSO) forurener produktet. Alle kvaliteter skal derfor opbevares under tør nitrogen i lukkede beholdere, ved 0-25 grader, væk fra enhver fugtkilde. Åbne beholdere skal straks gen-forsegles og dækkes med nitrogen efter hver brug.

Q: Hvad er HMDS, og hvordan adskiller det sig fra HMDSO?

HMDS (hexamethyldisilazane, CAS 999-97-3) indeholder en Si-N-Si-binding og er det aktive silyleringsreagens. HMDSO (hexamethyldisiloxane, CAS 107-46-0) indeholder en Si-O-Si-binding og er hydrolysebiproduktet af HMDS - det er langt mindre reaktivt. HMDS bruges som et kemisk overflademodificerende middel og silyleringsreagens; HMDSO bruges hovedsageligt som en ikke-reaktiv silikonevæske og råmateriale til HMDS-syntese. De to bør ikke forveksles, når der specificeres materialer til litografi eller farmaceutiske processer.

Q: Hvilke certificeringer skal jeg kræve fra en HMDS-leverandør?

Til industrielle anvendelser: ISO 9001 (kvalitetsstyring) og ISO 14001 (miljø). For farmaceutisk kvalitet: GMP-overholdelse, evne til at levere USP/EP-refereret COA og tredjeparts-QC-rapporter. For elektronisk kvalitet: bekræftelse af nedstrøms halvlederfabrikationskvalifikation (f.eks. SMIC, UMC-certificeringer), SEMI F47 eller tilsvarende materialestandarder, fuld ICP-MS spormetallrapport pr. batch og ISO 14644-certificeret ren emballage. Alle kvaliteter bør bære aktuelle REACH- og TSCA-registreringer til international eksport.

Q: Hvad er de vigtigste alternativer til HMDS, og hvornår foretrækkes HMDS?

Almindelige alternativer til silyleringsmidler omfatter trimethylchlorsilan (TMCS), N-methyl-N-trimethylsilylacetamid (MSA) og N,O-bis(trimethylsilyl)acetamid (BSA). HMDS foretrækkes, når der kræves milde reaktionsbetingelser (ingen HCl-biprodukt), når højt silyleringsudbytte er kritisk, eller når processen kræver minimal kontaminering fra sure eller ætsende-biprodukter -, hvilket gør den til standardvalget for behandling af halvlederwafer og farmaceutisk syntese. Til bulk industriel hydrofobering, hvor omkostninger er den primære drivkraft, kan TMCS bruges som et lavere-alternativ.